▶清洗 – 半导体晶片清洗 工程 实例 √清洁效率提高6倍 * UFB自身清洁能力2倍
* UFB溶解力增加导致的臭氧浓度高3倍
⇒缩短清洗时间及节省费用
▶之前二流体(AA) 对比,清洁力增加2倍以上