DIW Line 除菌&Particle Cleaning&CO2 防静电

DIW Line 除菌&Particle Cleaning&CO2 防静电

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  ▶清洗

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半导体晶片清洗 工程 实例

           
√清洁效率提高6倍

              * UFB
自身清洁能力2倍


              * UFB
溶解力增加导致的臭氧浓度高3倍


             
⇒缩短清洗时间及节省费用

             
   

▶之前二流体(AA) 对比,清洁力增加2倍以上