特长

●利用柔软且富有弹性的圆筒状突起形状，可以有效除去附着在洗净面的微细颗粒。当然也不会损伤工作面。

●由于只使用清洁水，可以得到充分的洗净效果。因此，能减少高价的清洁液和药液的使用，能抑制由于排水对环境的负荷。

●由于是高气孔率的多孔质结构和理想的突起排列设计，消除了洗净斑点，确保了污染物质和清洗水的排水路径，实现极高的清洗效果。

●由于采用清洁设计、专用生产线进行生产，因此无基材产生的二次污染、作为符合环境时代要求的清洁产品，得到了高端产业的高度支持。

用途

●ＣＭＰ后的洗净

●硅晶圆､液晶显示用基板､光掩模等的洗净